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光電|獲DARPA支持,以色列Tower半導體公司将研發光電集成代工工藝,實現矽上集成激光器

以色列Tower半導體将在美國國防高級研究計劃局(DARPA)“通用微尺度光學系統激光器”(LUMOS)項目提供的部分資金支持下,研發可制造矽上集成激光器的光電代工工藝。Tower公司主要提供高價值模拟半導體代工服務。

技術優勢

在矽上集成激光器的好處包括增加激光器的密度、減少激光器和光電子器件之間的耦合損耗、減少所需器件及極大簡化封裝方案。新的工藝将結合高性能Ш-V激光二極管與Tower公司的PH18矽光電平台。當與Tower的無源和有源矽光電器件(如矽和氮化矽波導、馬赫曾德爾調制器和Ge光電二極管)相聯合集成時,将使今天無法從批量半導體或光子學代工廠獲得的新産品成為可能。

待新工藝準備就緒後推出多項目晶圓運行(MPW)。工藝開發包(PDK)的初版預計将于2021年推出,包括激光器和放大器。研究成果将成為DARPA的LUMOS項目的一部分。

LUMOS項目

項目旨在将高性能激光器引入先進的光子學平台,具體包括三個不同的技術領域,來解決多個商業和國防應用。

1.将高性能激光器和光放大器帶入美國國内先進的光電子制造代工廠,研究成果将以MPW形式提供給研發團隊。研究團隊:Tower半導體公司和紐約州立理工學院。

2.為微波應用中的快速光子學平台上開發高功率激光器和放大器。研究團隊:超低損耗技術公司、Quintessent、哈佛大學和桑迪亞國家實驗室。

3.為可見光譜應用開發精确的激光器和集成光子電路,目标是在一個前所未有的光譜範圍内實現“按設計所需設計波長”。研究團隊:NexusPhotonics、耶魯大學、加州理工學院、桑迪亞國家實驗室和科羅拉多大學博爾德分校。

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