金屬有機化合物化學氣相沉澱（MOCVD） 是個啥？

以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延。通常MOCVD系統中的晶體生長都是在常壓或低壓(10-100Torr 下通H2的冷壁石英(...

啟示号 3年前 236 0

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